Trooper-BI1-晶圓級SiC老化測試機
Trooper-BI1-晶圓級SiC老化測試機
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設備特性與優點：
Trooper-BI 是一款高性能老化測試機，專為晶圓級碳化矽 (SiC)而設計。
此設備搭備真空的傳送手臂，可根據需求處理 6 英寸、 8 英寸之間的晶圓。它提供優異的多探針測試方式，範圍從 720 到 1,800 個測試通道，同時支援高達 200°C 的溫度。透過在高溫下進行高壓/電流壓力測試，Trooper-BI 可以有效地提前篩選出缺陷，確保交付的都是經過充分老化測試的可靠設備。
- 通道數量：每個晶圓最多 1800 個
- 支援6”和8”晶圓
- 可實現高達 200°C 的多重測試，一張探針卡可處理多種測試參數，確保其效率和成本效益
- 可自行定義老化程序
- 執行預燒前和後的測試
- 老化後目視檢查
- 老化期間的即時電壓/電流測量和溫度監控
產品規格：
| 上料/下料選項 | 晶圓盒 |
| 通道數量 | 每個晶圓單元最多 1800 個（視情況評估以獲得更高通道數） |
| 晶圓尺寸 | 2、3、4、5、6、8” |
| 老化時間 | 可編程 |
| 測試能力 | 預/後測試（IGSS、IDSS、Vth、VSD） |
| 壓力測試（IGSS、IDSS） |