Trooper-BI2-晶圓級SiC老化測試機
晶圓級SiC老化測試機
設備特性與優點:
專為功率元件設計的最新晶圓級老化測試系統。
此機型可同時容納 2 片晶圓並行測試,每個晶圓可並行 720個或以上數量的晶片測試。獨立的驅動通道可同時測量電壓/電流以及溫度監控。採用密封室設計,並且使用惰性氣體,可保護受測元件免受電弧和氧化的影響,同時使測試室保持在工作溫度狀態而不會過熱。
- 搭備全自動處理程序
- 多合一測試解決方案整合在測試室
- 進階使用者定義的老化曲線(連續或脈衝模式)
- 整合式氮氣冷卻系統
- 便利裝載和卸載的基材底座
- 溫度曲線可程式編程
產品規格
上料/下料配置 |
晶圓 |
通道數量 |
多達 720 個單位 |
老化時間 |
可編程 |
電氣參數測量 |
電流源範圍: l2μA、500μA、5μA
電流測量精準度: l1%的準確度。對應電流範圍為 5nA、0.5uA、1uA
電壓源範圍: l高壓源:0~3KV
l低電壓源:±50V
電壓源精準度: l高電壓:±1%
l低電壓:20mV或0.1%
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可程式溫度控制 |
溫度控制: lRT~200°C
溫度設定範圍: l高達 200°C
溫度設定: l0.1℃
操作溫度: l高達 200°C
操作濕度: l<65% RH @ 23°C(環境)
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