Trooper-V SiC晶圓檢測AOI
Trooper-V SiC晶圓檢測AOI
設備特性與優點:
Trooper-V 是 Pentamaster 的下一代高速 AOI 處理機,專為晶圓級封裝而設計。 Trooper-V 檢測系統只需 2 分鐘即可檢測由大約 70,000 個晶片組成的整個晶圓。配備高品質振鏡,可實現不同等級的放大倍率,以適應各種類型和尺寸的模具。
根據客戶的要求,它有兩種不同的設計,一種可以在無塵室(GLASS-10 )中運行,另一種可以在標準生產廠域中運行。
- 具有明視野和暗視野功能的先進顯微鏡
- 高品質振鏡(2.0x、5.0x、7.5x 放大倍率)
- RGB 配置的光源照明
- SiC 短波紅外線 (SWIR) 成像技術
- 可自訂的晶圓圖型生成
- 配備伯努利雙臂生晶圓機器人
- 可與多種晶圓尺寸搭配
產品規格
上料/下料 選項 |
原晶圓 (6”, 8”, 12”) |
封裝選擇 |
晶片、碳化矽 (SiC)、CMOS 影像感測器、倒裝晶片 |
每小時 晶圓數 |
± 30 片晶圓 |
視覺能力 |
晶圓預對準(x、y 和 θ 方向) 探針標記檢查(尺寸、面積和位置) 晶圓切割道檢查最終驗證 |
相機技術 |
短波紅外線 (SWIR) 成像技術 |