FOUP/FOSB Auto Unpacking Machine
晶圓盒自動拆包機(FOUP/FOSB Auto Unpacking Machine)主要功能是把包裝好的晶圓盒(FOUP、FOSB)拆開，同時寫入/讀取帳料資訊。
自動拆包機可取代人工作業、維持產品品質一致、並有效降低晶圓破片風險，滿足智能製造的需求。
• 使用超音波切割刀，避免發塵。
• E84通訊，對應OHT天車系統、MR系統自動化上下料功能。
• 大量投產功能，縮減上下料等待時間。
• 廢料集中收納處理。
| 適用包裝袋 | 鋁袋、抗靜電袋 (單層/雙層) |
| 對應產品 | 12”晶圓盒(FOUP/FOSB) |
| 產能 | 35MPH |